二甲基二氯硅烷用于制硅油、硅橡胶和硅树脂；一甲基二氯硅烷用于制织物防潮剂及其他有机单体；三甲基一氯硅烷作为硅Chemicalbook油的封头等，甲基三氯硅烷用作硅树脂等。这些制品广泛用于防潮电器绝缘材料、层压制品、涂料、润滑油、建筑材料等。